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SIMS二次離子質(zhì)譜儀
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Kore SurfaceSeer I是一款高靈敏度、高質(zhì)量范圍、高分辨率的SIMS二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS),可以用于絕緣、導(dǎo)電表面的成像分析與化學(xué)成分分析。SurfaceSeer I是研究表面化學(xué)的分析利器,適用于研發(fā)和工業(yè)質(zhì)量控制應(yīng)用。
SIMS二次離子質(zhì)譜儀主要通過離子源發(fā)射離子束濺射樣品表面進行分析。離子束作為一次離子源,經(jīng)過一次離子光學(xué)系統(tǒng)的聚焦和傳輸,到達樣品表面。樣品表面經(jīng)過濺射,產(chǎn)生二次離子,系統(tǒng)將產(chǎn)生的二次離子提取和聚焦,并將二次離子送入離子飛行系統(tǒng)。在離子飛行系統(tǒng)中,不同種類的二次離子由于質(zhì)荷比不同,飛行速度也不同,在飛行系統(tǒng)分離,通過檢測這些離子進行相關(guān)分析。
靜態(tài)SIMS是一種非常靈敏的表面分析技術(shù),能在只消耗樣品單層一小部分的情況下,獲得詳細的質(zhì)譜圖。被分析的分子來自固體表面前幾層,這對于探討材料關(guān)鍵區(qū)域例如附著力或催化等性質(zhì)至關(guān)重要。
SurfaceSeer I 使用與 SurfaceSeeer S 相同的 TOF-MS 技術(shù),但配備了高亮度、高空間分辨率的 25kV 液態(tài)金屬離子槍(LMIG)作為主要離子源。LMIG 的探頭尺寸≤ 0.5µm,可實現(xiàn)高分析空間分辨率。全自動計算機控制,允許在質(zhì)譜采集期間掃描離子槍,從而可以收集到化學(xué)圖像或圖譜。另外還提供了一個二次電子探測器(SED),用 于調(diào)諧初級電子束和 SED 圖像捕獲。
帶有12.7µm重復(fù)單元的銅格柵
SurfaceSeer I 儀器特點:
配備25KV液態(tài)金屬離子槍(LMIG)作為主要離子源,檢測能力更強,質(zhì)量分辨率更高;
具備表面成像和深度剖析功能;
提供的SIMS材料譜庫包含上千種材料的質(zhì)譜數(shù)據(jù),可識別未知的化合物和材料;
可同時分析所有元素及有機物,可消除有機物和元素干擾,使譜圖更清晰,檢測限更低,能更有效地分析材料樣品。
專用數(shù)據(jù)處理軟件允許分析數(shù)據(jù)和樣品的化學(xué)構(gòu)成信息進行全面的交互提取,其所有儲存的數(shù)據(jù)都能用于溯源性分析。
表面分析靈敏度高達 1x109 atoms/cm2
SurfaceSeer I 應(yīng)用領(lǐng)域:
表面涂層和處理
電子元件和半導(dǎo)體
電極與傳感器
潤滑劑
催化劑
粘合劑
薄膜等包裝材料
腐蝕研究
大學(xué)教學(xué)與科研