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高分辨二次離子質(zhì)譜儀tof-sims
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Kore SurfaceSeer S在飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀 (TOF-SIMS) 系列中,是一款高性?xún)r(jià)比且經(jīng)久耐用的產(chǎn)品。它是研究樣品表面化學(xué)成分的理想選擇,適用于研發(fā)和工業(yè)質(zhì)量控制應(yīng)用。
高分辨二次離子質(zhì)譜儀tof-sims是非常靈敏的表面分析手段,它將脈沖一次離子束聚焦到樣品表面,在濺射過(guò)程中產(chǎn)生二次離子。分析這些二次離子可提供有關(guān)樣品表面的分子、無(wú)機(jī)和元素種類(lèi)的信息。其憑借質(zhì)譜分析、二維成像分析、深度元素分析等功能,廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、細(xì)胞學(xué)、地質(zhì)礦物學(xué)、半導(dǎo)體、微電子、物理學(xué)、材料化學(xué)、納米科學(xué)、礦物學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域。
Kore SurfaceSeer S型號(hào)的高分辨二次離子質(zhì)譜儀tof-sims使用的是5keV Cs+離子束(可選惰性氣體Ar+),該離子束是脈沖式的,以限度地減少連續(xù)離子束可能造成的表面損傷。 在每100µs TOF 循環(huán)中,該離子槍的脈沖時(shí)間僅為60ns,因此,主光束提供的電流比連續(xù)打開(kāi)時(shí)少1000倍以上。典型的10s實(shí)驗(yàn)時(shí)間所產(chǎn)生的電流僅相當(dāng)于幾毫秒的連續(xù)光束電流。 要達(dá)到所謂的“靜態(tài)SIMS"極限,需要在一個(gè)點(diǎn)上進(jìn)行幾分鐘的分析,在這個(gè)點(diǎn)上,表面損傷在數(shù)據(jù)中變得清晰可見(jiàn)(取決于焦點(diǎn)和光 束電流)。盡管離子劑量較低,這款TOF分析儀還是非常高效的,這就說(shuō)明了它具有較高的二次離子數(shù)據(jù)速率(即使在離子產(chǎn)率相對(duì)較低 的聚合物上,也通常為5000 c/s)。
TOF-SIMS的高表面靈敏度使其成為解決問(wèn)題的良好起點(diǎn),可以對(duì)樣品中存在的物質(zhì)類(lèi)型進(jìn)行概述。然后可以使用其他技術(shù)來(lái)獲取其他信息。TOF-SIMS還可以檢測(cè)到比傳統(tǒng)表面分析技術(shù)(如XPS和Auger)低得多的物質(zhì)水平。
SurfaceSeer S 儀器特點(diǎn):
配備5keV Ar+/Cs+脈沖式離子束,以限度地減少連續(xù)離子束可能造成的表面損傷,實(shí)現(xiàn)樣品“無(wú)損"分析;
針對(duì)工業(yè)領(lǐng)域的低成本TOF-SIMS儀器;
均適用于導(dǎo)電物體表面和絕緣物體表面的分析 ;
可在1~2min內(nèi)實(shí)現(xiàn)高速率的正負(fù)質(zhì)譜分析;
質(zhì)量分辨率可達(dá) >2,500 m/δm (FWHM);
適用于導(dǎo)電物體表面和絕緣物體表面的分析。
SurfaceSeerS應(yīng)用領(lǐng)域:
表面化學(xué)
黏附力
分層
印刷適性
表面改性
等離子體處理
痕量分析(表面ppm)
催化劑
同位素分析
表面污染