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進(jìn)口ALD設(shè)備

進(jìn)口ALD設(shè)備:ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過(guò)其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來(lái)影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來(lái)非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無(wú)孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-07-04
  • 訪  問(wèn)  量:4174
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產(chǎn)品詳情

進(jìn)口ALD設(shè)備概述:原子層沉積是一項(xiàng)沉積薄膜的重要技術(shù),具有廣泛的應(yīng)用。ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結(jié)構(gòu)的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠(yuǎn)超過(guò)其它沉積技術(shù)。由于前驅(qū)體流量的隨意性不會(huì)帶來(lái)影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應(yīng)將會(huì)帶來(lái)非統(tǒng)計(jì)的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無(wú)孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實(shí)現(xiàn)到大基片上。

進(jìn)口ALD設(shè)備特點(diǎn):

  • 占地面積小

  • 計(jì)算機(jī)控制,Labview軟件全自動(dòng)工藝控制

  • 360A厚的AL2O3膜,誤差為±1A

  • 三維鍍膜,接近100%的階梯覆蓋率

  • 設(shè)備集成安全氣柜

  • 10mTorr的極限真空

  • 可支持6“,8"基片(升級(jí)支持12“,或定制更大尺寸)

  • 樣品臺(tái)可加熱至400℃(可選加熱到500℃)

  • 手動(dòng)/自動(dòng)上下載片可選

  • 支持多達(dá)7路的50ml的液態(tài)或固態(tài)前驅(qū)體瓶源

選配:

  • 下游式遠(yuǎn)程平面ICP源或中空陰極離子源,支持PEALD

  • 自動(dòng)上下片,單片或25片cassette

  • 增加額外的液態(tài)qia前驅(qū)體或額外的fan'ying反應(yīng)氣路

  • 300l/sec的磁懸浮渦流分子泵,5*10-7Torr極限真空

  • 大尺寸的基片或fe粉末的沉積

  • QCM原位膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

應(yīng)用:

  • Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc

  • Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..

  • Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應(yīng)用.

  • Nano laminates納米復(fù)合材料

  • 高K介質(zhì)

  • 疏水性涂覆

  • 鈍化層

  • 高深寬比擴(kuò)散阻擋層的銅連接

  • 微流控ying'yo應(yīng)用的保形性涂覆

  • 燃料電池z中諸如催化層的單金屬涂覆

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