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進口ALD設備

進口ALD設備:ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統(tǒng)計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現(xiàn)到大基片上。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-07-04
  • 訪  問  量:4213
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產品詳情

進口ALD設備概述:原子層沉積是一項沉積薄膜的重要技術,具有廣泛的應用。ALD原子層沉積可以滿足膜厚控制以及高深寬比結構的保形沉積,這方面ALD原子層沉積遠超過其它沉積技術。由于前驅體流量的隨意性不會帶來影響,所以在ALD原子層沉積中有序、自限制的表面反應將會帶來非統(tǒng)計的沉積。這使得ALD原子層沉積膜保持高度的光滑、連續(xù)以及無孔的特性,可以提供優(yōu)異的薄膜性能。ALD原子層工藝也可以實現(xiàn)到大基片上。

進口ALD設備特點:

  • 占地面積小

  • 計算機控制,Labview軟件全自動工藝控制

  • 360A厚的AL2O3膜,誤差為±1A

  • 三維鍍膜,接近100%的階梯覆蓋率

  • 設備集成安全氣柜

  • 10mTorr的極限真空

  • 可支持6“,8"基片(升級支持12“,或定制更大尺寸)

  • 樣品臺可加熱至400℃(可選加熱到500℃)

  • 手動/自動上下載片可選

  • 支持多達7路的50ml的液態(tài)或固態(tài)前驅體瓶源

選配:

  • 下游式遠程平面ICP源或中空陰極離子源,支持PEALD

  • 自動上下片,單片或25片cassette

  • 增加額外的液態(tài)qia前驅體或額外的fan'ying反應氣路

  • 300l/sec的磁懸浮渦流分子泵,5*10-7Torr極限真空

  • 大尺寸的基片或fe粉末的沉積

  • QCM原位膜厚監(jiān)控系統(tǒng)

應用:

  • Oxides氧化物: Al203, HfO2, La2O3, SiO2, TiO ZnO, In2O3,etc

  • Nitrides氮化物: AlN, TiN, TaN, etc..

  • Photovoltaic and MEMS applications光伏及MEMS應用.

  • Nano laminates納米復合材料

  • 高K介質

  • 疏水性涂覆

  • 鈍化層

  • 高深寬比擴散阻擋層的銅連接

  • 微流控ying'yo應用的保形性涂覆

  • 燃料電池z中諸如催化層的單金屬涂覆

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