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NMC-3000等離子輔助MOCVD

NMC-3000等離子輔助MOCVD系統(tǒng):針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2025-04-28
  • 訪  問  量:2182
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產(chǎn)品詳情

等離子輔助MOCVD技術(shù)

NMC-3000等離子輔助MOCVD概述:NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制,*的安全互鎖。

目前,這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng),該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

NMC-3000等離子輔助MOCVD應(yīng)用:Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)

NMC-3000等離子輔助MOCVD系統(tǒng)特點:

  • 臺式系統(tǒng)
  • 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
  • 加熱的氣體管路
  • 950 °C樣品臺,2”晶圓片
  • 3個氣體環(huán)
  • RF等離子源,帶淋浴頭氣體分布
  • 工藝完成后N2自動沖洗
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 260 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機(jī)全自動控制
  • 菜單驅(qū)動,4級密碼訪問控制
  • 完整的安全聯(lián)鎖

 

 

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