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光學(xué)元件鍍膜機(jī)先進(jìn)的技術(shù)介紹

更新時(shí)間:2015-12-29      瀏覽次數(shù):4150
   鍍膜是用物理或化學(xué)的方法在材料表面鍍上一層透明的電解質(zhì)膜,或鍍一層金屬膜,目的是改變材料表面的反射和透射特性。

  在可見(jiàn)光和紅外線波段范圍內(nèi),大多數(shù)金屬的反射率都可達(dá)到78%~98%,但不可高于98%。無(wú)論是對(duì)于CO2激光,采用銅、鉬、硅、鍺等來(lái)制作反射鏡,采用鍺、砷化鎵、硒化鋅作為輸出窗口和透射光學(xué)元件材料,還是對(duì)于YAG激光采用普通光學(xué)玻璃作為反射鏡、輸出鏡和透射光學(xué)元件材料,都不能達(dá)到全反射鏡的99%以上要求。不同應(yīng)用時(shí)輸出鏡有不同透過(guò)率的要求,因此必須采用光學(xué)鍍膜方法。

  對(duì)于CO2激光燈中紅外線波段,常用的鍍膜材料有氟化釔、氟化鐠、鍺等;對(duì)于YAG激光燈近紅外波段或可見(jiàn)光波段,常用的鍍膜材料有硫化鋅、氟化鎂、二氧化鈦、氧化鋯等。除了高反膜、增透膜之外,還可以鍍對(duì)某波長(zhǎng)增反射、對(duì)另一波長(zhǎng)增透射的特殊膜,如激光倍頻技術(shù)中的分光膜等。

  那諾中國(guó)有限公司生產(chǎn)的光學(xué)元件鍍膜機(jī)提供的技術(shù),在一個(gè)腔體中實(shí)現(xiàn)原子級(jí)清洗和光學(xué)樣片拋光,然后把樣片傳送到第二級(jí)腔體中對(duì)同一樣片進(jìn)行表面涂覆,整個(gè)過(guò)程不間斷真空。光學(xué)元件鍍膜機(jī)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)也可以支持其中任一個(gè)腔體的單獨(dú)使用,同時(shí)具備各自的自動(dòng)上/下載片功能。
 
  
光學(xué)元件鍍膜機(jī)選配項(xiàng):
  向下/向上濺射
  共濺射
  DC,RF以及脈沖電源
  離子束輔助沉積
  電子束源
  等離子源
  光學(xué)元件鍍膜機(jī)
  光學(xué)元件鍍膜機(jī)
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